HỆ THÔNG CHIẾU XẠ UV μEXPOSER – MUTECH

MODEL: μEXPOSER

Máy Mutech μExposer là thiết bị chiếu xạ UV chuyên dụng, phù hợp cho vi chế tạo. Thiết bị này giúp người dùng thực hiện quá trình quang khắc một cách nhanh chóng trên các mẫu vật. Hệ thống bao gồm một nguồn sáng LED UV 365nm với ánh sáng song song và một khay trượt để đặt mặt nạ quang và mẫu cần chiếu xạ. Ngoài ra, có nhiều giá đỡ và tùy chọn tùy chỉnh khác nhau phù hợp với từng ứng dụng cụ thể.

QUY TRÌNH QUANG KHẮC

Quang khắc là một kỹ thuật giúp tạo ra các chi tiết nhỏ trên bề mặt của vật liệu, thường được sử dụng trong sản xuất các thiết bị nhỏ như vi mạch. Trong quá trình quang khắc, thiết kế được chuyển lên lớp nhạy sáng (photoresist) đã phủ trên bề mặt mẫu. Sau khi chiếu sáng, các phần bị chiếu sẽ được rửa đi (đối với photoresist dương). Bằng cách sử dụng axit hoặc tia ion để khắc, các phần không có lớp bảo vệ sẽ bị loại bỏ, giúp chuyển mẫu thiết kế lên bề mặt mẫu cuối cùng.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT 

ỨNG DỤNG CHÍNH

μExposer là một hệ thống chắc chắn với thiết kế toàn bộ bằng kim loại, dễ sử dụng, ít cần bảo trì và có thể tạo các thiết bị lớp đơn một cách nhanh chóng. Khách hàng có thể đặt các giá đỡ mẫu tùy chỉnh cho các mẫu đặc biệt, chẳng hạn như mẫu không phẳng hoặc mẫu linh hoạt. μExposer rất phù hợp với nghiên cứu ở quy mô phòng thí nghiệm và quy mô pilot.

CÔNG CỤ BỔ SUNG CHO μLASER

Khi kết hợp với μLaser, μExposer giúp xử lý các vật liệu nhạy cảm với ánh sáng 365 nm và tạo ra các chi tiết với độ sắc nét cao trong quá trình quang khắc. Sự kết hợp giữa μExposer và μLaser là giải pháp tiết kiệm chi phí cho việc chế tạo và phát triển các thiết bị lớp đơn, đặc biệt là trong lĩnh vực y sinh và vi lỏng.