MODEL: μALIGNER
Máy Mutech μAligner là một thiết bị căn chỉnh mặt nạ UV nhỏ gọn, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng vi chế tạo trong các phòng thí nghiệm và cơ sở nghiên cứu. Thiết bị này hỗ trợ tạo các thiết bị nhiều lớp trên nhiều loại vật liệu nhạy sáng khác nhau, mang lại chất lượng phơi sáng tuyệt vời. μAligner có giao diện cảm ứng 7 inch dễ sử dụng, cho phép căn chỉnh chính xác với kính hiển vi kỹ thuật số đã hiệu chuẩn và bàn căn chỉnh X-Y-R chính xác.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
Kích thước (WxDxH)
510 x 360 x 455 mm
Trọng lượng
16 kg
Nguồn điện
110V/220V, công suất 400W
Tốc độ ghi tiêu chuẩn
100-120 mm/s
Diện tích làm việc tối đa
100 x 92 mm²
Độ chính xác định vị trên trục X và Y
X = 0,16 µm, Y = 1,00 µm
Độ rung cơ học trên trục X và Y
< 1 µm
Độ chính xác căn chỉnh nhiều lớp
5-10 µm (Có tùy chọn bàn xoay để căn chỉnh dễ dàng hơn)
Kích thước chi tiết nhỏ nhất có thể đạt được
3-5 µm tùy theo đặc điểm chi tiết
Bước sóng laser
405nm (tùy chọn 375nm)
Định dạng hỗ trợ
PNG, GDSII
Chức năng phần mềm
Xoay, phản chiếu, đảo ngược, thay đổi tỷ lệ, thêm viền
ỨNG DỤNG CHÍNH
Chế tạo các hệ thống vi điện tử, quang học, công nghệ sinh học, và vi lỏng. Thiết bị này hỗ trợ quá trình sản xuất nhanh chóng với độ phân giải và độ chính xác cao, phù hợp cho các nghiên cứu tiên tiến.
KHẢ NĂNG KẾT HỢP
Là công cụ bổ trợ cho μLaser, hệ thống μAligner giúp làm việc với các vật liệu nhạy với bước sóng 365 nm. Với khả năng căn chỉnh cực kỳ chính xác, μAligner giúp tạo ra các cấu trúc nhỏ chi tiết và tăng hiệu suất quang khắc. Sự kết hợp giữa microAligner và microLaser là giải pháp hoàn hảo cho việc chế tạo nhanh và phát triển các thiết bị tinh vi trong lĩnh vực y sinh, vi lỏng và vi điện tử.
