Model: Augent® OPG550
Augent® OPG550 được trang bị cảm biến Pirani tích hợp, tự động tắt plasma khi áp suất vượt quá 20 mbar, đảm bảo an toàn và độ bền cho thiết bị. Nguyên lý đo quang học nhanh chóng cho phép phát hiện hầu hết các loại khí, hỗ trợ:
- Phát hiện rò rỉ nhanh chóng: Giúp kiểm tra rò rỉ buồng và tăng năng suất.
- Tuổi thọ cao: Không có hiện tượng cháy dây tóc, bảo vệ khi không khí tràn vào.
- Chịu được hóa chất trong quy trình: Đảm bảo hoạt động ổn định trong môi trường khắc nghiệt.
- Thuật toán thông minh: Dễ dàng tích hợp vào hệ thống hiện có.
- Thiết kế nhỏ gọn: Tiết kiệm không gian và dễ dàng lắp đặt.
THÔNG SỐ KĨ THUẬT
Dải đo (N₂)
1 x 10⁻⁷ đến 5 mbar (7,6 x 10⁻⁸ đến 3,8 Torr)
Độ chính xác (áp suất tổng, N₂)
1 x 10⁻⁷ đến 100 mbar: ±30% giá trị đọc
100 đến 1.000 mbar: ±50% giá trị đọc
Độ lặp lại (áp suất tổng, N₂)
1 x 10⁻⁷ đến 100 mbar: ±5% giá trị đọc
Nhiệt độ hoạt động (môi trường)
+5 đến +50°C
Nhiệt độ lưu trữ
-20 đến +70°C
Nhiệt độ nung tại mặt bích (với bộ điện tử)
< 80°C
Nhiệt độ nung tại mặt bích (không có bộ điện tử)
< 120°C
Điện áp cung cấp tại cảm biến
+14,5 đến +30 V (DC)
Độ gợn sóng điện áp
< 1 V (p-p)
Công suất tiêu thụ
< 5 W
Cầu chì kết nối
1 A
Vật liệu tiếp xúc với chân không
Al₂O₃, Thép không gỉ 1.4435 (Tổng quan)
Molypden (Anode)
, Titan, Thép không gỉ 1.4016 (Buồng ion hoá)
Thép không gỉ 1.4310 (Bộ phận đánh lửa)
PHỤ KIỆN TIÊU HAO
- Cáp chẩn đoán: Dài 2 m, kết nối RS232.
- Nguồn điện 24 V (DC): Kèm đầu ra analog và đường RS232.
- Bộ dụng cụ làm sạch cửa sổ quang học: Dành cho các cảm biến có mã PN 3OF1-xxx-xxxx.
ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Kiểm tra rò rỉ buồng: Thực hiện kiểm tra tốc độ tăng áp suất (Rate of Rise) nhanh hơn.
- Phát hiện rò rỉ từ đường cung cấp khí: Xác định rò rỉ nội bộ từ các đường ống dẫn khí.
- Kiểm soát điểm kết thúc theo thời gian thực: Giám sát và điều chỉnh quy trình sản xuất.
- Kiểm soát loại và nồng độ khí: Đảm bảo chất lượng và an toàn trong quy trình.
