MODEL: Transpector® APX ALD Single Pressure

Máy quang phổ khối Transpector® APX ALD Áp Suất Đơn là thiết bị phân tích khí hiện đại, được tối ưu hóa để chịu đựng các quy trình hóa học khắc nghiệt như lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) và lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD). Thiết bị mang lại khả năng giám sát liên tục và thu thập dữ liệu chính xác tại mọi giai đoạn quan trọng. Đặc biệt, hệ thống đầu vào kiểm soát nhiệt độ giúp chống lại khí ăn mòn, đảm bảo hiệu quả cao trong việc giám sát điểm cuối và làm sạch buồng quy trình.

THÔNG SỐ KĨ THUẬT

Thông số

100 AMU

200 AMU

300 AMU

Phạm vi áp suất tổng

5E-7 – 1E-3 Torr (6.6E-7 – 1.3E-3 mbar)

Giới hạn phát hiện

< 10 ppb

< 25 ppb

< 50 ppb

Phạm vi áp suất quy trình

1E-8 Torr – 1.2 atm (1.3E-8 mbar – 1.2 atm)

Độ nhạy (Phát xạ thấp)

> 4.0E-6 amps/Torr (> 3E-6 amps/mbar)

> 2.0E-6 amps/Torr (> 1.5E-6 amps/mbar)

> 1.0E-6 amps/Torr (> 7.6E-7 amps/mbar)

Độ nhạy (Phát xạ cao)

> 2.0E-5 amps/Torr (> 1.5E-5 amps/mbar)

> 1.0E-5 amps/Torr (> 7.6E-6 amps/mbar)

> 5.0E-6 amps/Torr (> 3.8E-6 amps/mbar)

ƯU ĐIỂM NỔI BẬT

Thiết kế nền tảng tùy chỉnh theo ứng dụng: Đảm bảo tuổi thọ dài trong các quy trình ALD hoặc CVD, bảo vệ wafer và tấm nền, đồng thời tối ưu hóa quy trình.
Tốc độ đo nhanh: Hơn 550 điểm dữ liệu mỗi giây, phù hợp cho các ứng dụng ALD.
Tiết kiệm không gian: Giảm 30% diện tích lắp đặt và dễ dàng cài đặt nhờ hệ thống bơm hiệu suất cao.
Đầu vào kiểm soát nhiệt độ với lớp phủ độc quyền: Chịu được hóa chất ăn mòn mạnh.
Hiệu chuẩn tự động: Đảm bảo độ tin cậy và chính xác của dữ liệu trong thời gian dài, hỗ trợ việc đồng bộ hóa giữa các cảm biến và buồng công cụ.