MODEL: Transpector APX Multi-Pressure

Transpector APX Multi-Pressure là thiết bị phân tích khí hiện đại, được thiết kế để hoạt động bền bỉ trong các quy trình hóa học khắc nghiệt như lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) và lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD). Thiết bị này hỗ trợ giám sát liên tục và thu thập dữ liệu chính xác ở mọi giai đoạn quan trọng. Đặc biệt, hệ thống HexBlock với lớp phủ độc quyền từ INFICON giúp chống lại khí ăn mòn, đảm bảo hiệu quả cao trong việc giám sát và làm sạch buồng quy trình.

THÔNG SỐ KĨ THUẬT

Thông số

100 AMU

200 AMU

300 AMU

Phạm vi áp suất tổng

5E-7 – 1E-3 Torr (6.6E-7 – 1.3E-3 mbar)

Giới hạn phát hiện

< 10 ppb

< 25 ppb

< 50 ppb

Phạm vi áp suất quy trình

1E-8 Torr – 1.2 atm (1.3E-8 mbar – 1.2 atm)

Độ nhạy (Phát xạ thấp)

> 4.0E-6 amps/Torr (> 3E-6 amps/mbar)

> 2.0E-6 amps/Torr (> 1.5E-6 amps/mbar)

> 1.0E-6 amps/Torr (> 7.6E-7 amps/mbar)

Độ nhạy (Phát xạ cao)

> 2.0E-5 amps/Torr (> 1.5E-5 amps/mbar)

> 1.0E-5 amps/Torr (> 7.6E-6 amps/mbar)

> 5.0E-6 amps/Torr (> 3.8E-6 amps/mbar)

ỨNG DỤNG

Giám sát quy trình hóa học: ALD, PECVD, CVD, PVD, Etch.
Kiểm tra điểm cuối: Làm sạch buồng và quy trình xử lý khí ăn mòn.
Phân tích khí chính xác: Đảm bảo hiệu quả sản xuất trong công nghiệp bán dẫn.
Giảm phế phẩm: Giám sát liên tục để tối ưu hóa quy trình sản xuất.
Đảm bảo chất lượng: Thu thập dữ liệu chi tiết để duy trì hiệu suất cao.