MODEL: HEM6000
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
Hệ thống quang điện tử
Độ phân giải
1.3 nm@3 kV, SE; 2.2 nm@1 kV, SE
1.9 nm @ 3 kV, BSE; 3.3 nm@1 kV, BSE
Độ phóng đại
66 – 1.000.000x
Điện áp gia tốc
0,1 kV – 6 kV (Chế độ giảm tốc)
6 kV – 30 kV (Chế độ không giảm tốc)
Súng phát điện tử
Súng phát xạ điện tử trường Schottky độ sáng cao
Loại thấu kính vật tiêu
Thấu kính vật tiêu kết hợp giữa điện từ và tĩnh điện
Hệ thống nạp mẫu
Hệ thống chân không
Hệ thống chân không tự động hoàn toàn, không dùng dầu
Giám sát mẫu
Camera giám sát buồng chính ngang; camera giám sát buồng thay mẫu dọc
Kích thước mẫu tối đa
Đường kính 4 inch
Loại bàn đặt mẫu
Bàn giữ mẫu 3 trục điều khiển bằng động cơ
Phạm vi di chuyển
X, Y: 110 mm; Z: 28 mm
Độ lặp lại
X: ±0,6 μm; Y: ±0,3 μm
Thay đổi mẫu
Hoàn toàn tự động
Thời gian thay mẫu
Dưới 15 phút
Làm sạch buồng nạp
Hệ thống làm sạch bằng plasma tự động hoàn toàn
Thu nhận và xử lý hình ảnh
Thời gian dừng
10 ns/pixel
Tốc độ thu nhận
2*100 M pixel/giây
Kích thước hình ảnh
8K*8K
Giao diện người dùng
Ngôn ngữ
Tiếng Anh
Hệ điều hành
Windows
Chức năng tự động
Nhận diện mẫu tự động, chọn vùng ảnh tự động, độ sáng & độ tương phản tự động, lấy nét tự động, tự động điều chỉnh hiện tượng bẻ cong hình ảnh (stigmator)
