MODEL: Transpector® CPM 3

THÔNG SỐ KĨ THUẬT

Thông số

100 AMU

200 AMU

300 AMU

Phạm vi áp suất tổng

5E-7 – 1E-3 Torr (6.6E-7 – 1.3E-3 mbar)

Giới hạn phát hiện

< 1 ppm

< 2 ppm

< 4 ppm

Áp suất hoạt động của hệ thống

1E-8 Torr – 1,2 atm

Độ nhạy (Phát xạ thấp)

> 4E-6 Amps/Torr

> 2E-6 Amps/Torr

> 1E-6 Amps/Torr

Độ nhạy (Phát xạ cao)

> 2E-5 Amps/Torr

> 1E-5 Amps/Torr

> 5.0E-6 Amps/Torr

ƯU ĐIỂM NỔI BẬT

Công nghệ đo lường hàng đầu: Tốc độ đo 1,8 ms mỗi điểm (555 điểm mỗi giây), phù hợp cho các ứng dụng ALD.
Kiến trúc mạnh mẽ và thích ứng: Hệ thống bơm và đầu vào đã được chứng minh trong thực tế, tích hợp với cảm biến và điện tử mới, đảm bảo độ bền và độ tin cậy trong các ứng dụng CVD và Etch khắt khe nhất.
Dễ dàng bảo trì: Thiết kế nhỏ gọn cho phép tích hợp dễ dàng vào thiết bị sản xuất bán dẫn, với hệ thống Hexblock™ có tới ba đầu vào áp suất và diện tích bề mặt giảm thiểu, giúp giảm phản ứng bề mặt và thời gian phản hồi.
Hỗ trợ sản phẩm vượt trội: Khi tích hợp với phần mềm FabGuard và được hỗ trợ bởi các chuyên gia ứng dụng hàng đầu của INFICON, Transpector CPM trở thành công cụ mạnh mẽ cho giám sát và chẩn đoán quy trình.