MODEL: Transpector® MPH
THÔNG SỐ KĨ THUẬT
Phạm vi khối lượng
100 amu
Áp suất cục bộ tối thiểu phát hiện
2E-15 Torr
Độ nhạy (FC)
6E-4 A/Torr
Độ nhạy (EM)
500 A/Torr
Áp suất hoạt động tối đa
5E-4 Torr
ƯU ĐIỂM NỔI BẬT
- Tốc độ thu thập dữ liệu nhanh: Tốc độ tối đa 1,8 ms mỗi điểm cho các phép quét analog và các đỉnh được chọn.
- Kết nối TCP/IP Ethernet: Đảm bảo truyền dữ liệu nhanh chóng và ổn định.
- Thiết kế cảm biến nhỏ gọn: Giảm thiểu không gian lắp đặt.
- Dải động chín bậc: Cho phép đo lường chính xác trong phạm vi rộng.
- Độ nhạy cao: Áp suất cục bộ tối thiểu phát hiện được < 2E-15 Torr (100 amu).
- Cấu trúc mô-đun: Cảm biến và điện tử có thể hoán đổi cho nhau, thuận tiện cho việc bảo trì và nâng cấp.
- Tuân thủ RoHS: Đảm bảo an toàn và thân thiện với môi trường.
ỨNG DỤNG
Transpector MPH được lắp ráp, kiểm tra và đóng gói trong môi trường phòng sạch, đảm bảo chất lượng và độ tin cậy cao. Sản phẩm phù hợp cho các ứng dụng trong ngành sản xuất bán dẫn, giúp giám sát quá trình, phát hiện rò rỉ và kiểm tra độ tinh khiết của khí, góp phần nâng cao hiệu suất và chất lượng sản phẩm.



