MODEL: Transpector® XPR 3+
Transpector XPR 3+ là thiết bị phân tích khí chuyên dụng, tối ưu cho việc giám sát quá trình xử lý màng mỏng và làm sạch buồng trong sản xuất công nghiệp. Với khả năng phát hiện chính xác khí ở mức vết, sản phẩm đảm bảo chất lượng và giảm thiểu phế phẩm trong ngành bán dẫn và công nghệ màn hình.
THÔNG SỐ KĨ THUẬT
Độ ổn định vị trí khối lượng (Mass position stability)
< 0.1 amu (trong 24 giờ)
Độ nhạy (Chế độ FC)
≥ 4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
Độ nhạy (Danh định)
≥ 8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
Áp suất cục bộ tối thiểu phát hiện (Chế độ FC)
≤ 1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
Áp suất cục bộ tối thiểu phát hiện (Chế độ EM)
≤ 6E-12 Torr (8E-12 mbar)
Áp suất hoạt động tối đa (Chế độ FC hoặc EM)
20 mTorr (2.6E-2 mbar)
Áp suất hoạt động tối đa (Hoạt động tuyến tính)
10 mTorr (1.3E-2 mbar)
ƯU ĐIỂM NỔI BẬT
- Giám sát liên tục từ chân không cao đến áp suất quy trình PVD: Phát hiện nhanh chóng các rò rỉ không khí và chất gây ô nhiễm, bảo vệ wafer và tấm nền trong thời gian thực.
- Tối ưu hóa thời gian hoạt động của thiết bị: Cung cấp dữ liệu đáng tin cậy về điều kiện buồng, giúp nâng cao hiệu quả bảo trì và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động.
- Thiết kế bền bỉ với tuổi thọ cao: Sử dụng các thành phần có tuổi thọ dài và thiết kế nguồn ion kép giúp giảm thiểu chi phí sở hữu tổng thể.
- Dễ dàng tích hợp vào hệ thống nhà máy: Hỗ trợ thu thập và đồng bộ hóa dữ liệu mạnh mẽ, đảm bảo tích hợp liền mạch và đáng tin cậy.
- Tùy chỉnh theo nhu cầu sản xuất: Cho phép tối ưu hóa quy trình thông qua các công thức tùy chỉnh, đáp ứng các yêu cầu sản xuất độc đáo.
ỨNG DỤNG
- Quy trình lắng đọng vật lý (PVD) và phún xạ: Giám sát và kiểm soát chất lượng trong các quy trình lắng đọng màng mỏng.
- Buồng làm sạch và tiền xử lý: Đảm bảo hiệu quả làm sạch và chuẩn bị bề mặt trước khi lắng đọng.
- Công cụ PVD không theo cụm: Theo dõi chất lượng trong các hệ thống lắng đọng độc lập.
- Buồng khử khí kẹp: Giám sát quá trình khử khí để đảm bảo chất lượng bề mặt.
